Industria-teknologiaren garapenarekin, industria-ekoizpenerako beharrezkoak diren helburuen kalitatea ere gero eta handiagoa da, helburuen kalitateak magnetron sputtering filmen errendimenduan zuzenean eragiten duelako.Gaur egun, enpresek, oro har, nahiago dute dentsitate handiko helburuak erabiltzea sputtering estaldurarako egitura uniformea duten konposizio-egiturarekin helburuak erostean, helburuen jostura anitz murrizteko eta sputtering estalduraren kalitatea hobetzeko. kontrolatu xedearen kalitatea.Orain utzi Beijingeko editoreaRichmatxedearen kalitatean zer faktorek eragiten duten ulertzera eramango zaitu.
1,Prozesuaren parametroek helburuaren kalitatean duten eragina
Prozesuaren parametroek presio hotzeko presioa, presio-abiadura eta desmoldatze-abiadura eta beste parametro batzuk barne hartzen dituzte..Helburua hotz sakatzen denean, presioak zuzenean eragingo du xede hutsaren kalitatean;Presurizazio-abiadurak eragin handia du xede hutsunearen estratifikazioan, eta hautsa molde negatiboan uniformeki betetzen denean hasierako egoera egoera laxoa da, poro eta gas asko dituena eta gasen isurketak aldi bat hartzen du. denbora.
2,TheMoldearen eragina xede-kalitatean
Moldeak nolabaiteko eragina du xede-hutsaren eraketan.Eragin-faktore nagusiak moldearen barne-aldearen gainazaleko akabera, puntzoiaren eta moldearen barrunbearen arteko tartea, etab. tartea handiegia bada, hautsaren exekuzioa eta hauts-ihesak gertatuko dira, eta horrek dentsitate marjinala izango du. hutsunea baxua, eta kalitate-arazoak, esate baterako, ertza erortzea desmoldatzean.
3,Materialaren hezetasun edukiaren eragina xedearen kalitatean
Helburu-materialaren hautsean dagoen hezetasuna lubrifikatzailearen efektuaren baliokidea da, eta bere presentziak partikulen arteko marruskadura murrizten du, hau da, hotz-presioaren presioa eraginkorra transmititzeko, eta irristatze leuna eta leuntzeko ere laguntzen du. hauts partikulen arteko berrantolaketa.Hala ere, uraren edukia txikiegia edo gehiegizkoa denean, helburuaren kalitatean eragingo du.
ITO hautsaren ur-edukia % 2 baino txikiagoa denean, kalitate-arazoak izateko probabilitatea, hala nola ertz-galera eta xede-materialaren delaminazioa, asko handituko da beste baldintza batzuk, esate baterako, prentsa hotzeko presioa eta aglutinatzaile-edukia berdinak direnean. ITO hautsaren edukia % 10 baino gehiago da, hotz-presio, aglutinatzaile-edukia eta beste baldintza batzuen pean, hauts-partikulak errazago irristatu eta berrantolatu arren, ura moldearen barrutik isurtzen da, eta horrek erortzeko arazoa eragingo du. xede-materialaren hutsunearen inguruko ertzak.Emaitzek erakusten dute hautsaren ur-edukia % 3 eta % 6 artean dagoenean, hutsunearen kalitatea eraginkortasunez kontrolatzen dela.
4,Lokal-edukiaren eragina xede-kalitatean
Sartutako aglutinatzaile kopuruak eragin handia du xede-materialaren kalitatean.Inkorporazio-kopurua % 1 baino txikiagoa denean, xede-hutsak kalitate-arazo oso larria izango du, une honetan, ez da aglutinatzailearen eragina erakusten, eta helburu-hutsaren indarra hobetzeko eragin txikia du. aglutinatzailea %2 eta %3ra igotzea, xede-materialaren indarra hobetzen da eta xede-materialaren kalitate-arazoa asko murrizten da.Hala ere, aglutinatzailea % 4ra sartzen denean, xede-materialaren hotzean prentsatutako hutsunearen kalitate-arazoa desagertzen den arren, xede-materiala noizean behin delaminatzen da ondorengo desmoldatze-prozesuan.
Argitalpenaren ordua: 2022-04-22