Denok dakigu sputtering helburuaren zehaztapen asko daudela,aw daukanaaplikazio sorta ide.Tindustria ezberdinetan erabili ohi diren barietateak ere desberdinak dira, gaur etor gaitezen rekin PekinRichmat elkarrekin sputtering xede-industriaren sailkapenari buruz ikasteko.
一,Sputtering xede-materialaren definizioa
Sputtering film meheko materialak prestatzeko teknologia nagusietako bat da.Ioi-iturburuak sortutako ioiak erabiltzen ditu abiadura handiko energia duen ioi-sorta sortzeko, agregazio azeleratuaren bidez hutsean. Bonbardatutako gainazal solidoek, ioiek eta gainazal solidoko atomoek energia zinetikoa dute elkartrukea, eta horrela gainazal solidoko atomoek solidoa utzi eta bertan metatzen dute. substratuaren gainazalean, bonbardatutako solidoa sputtering metatutako filma prestatzeko lehengaia da, sputtering xede bezala ezagutzen dena.
二、Sputtering helburuko materialen aplikazio-eremuen sailkapena
1,Helburu erdieroalea
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Arlo honetako helburu arruntak tantalioa, kobrea, titanioa, aluminioa, urrea, nikela eta urtze-puntu handiko beste metal batzuk dira.
(2)Erabilera:Funtsean, erabili zirkuitu integratuaren jatorrizko datu erabakigarrietan
(3)Baldintza funtzionalak:Garbitasunari, tamainari eta integrazioari buruzko baldintza teknikoak handiak dira.
2,Xede-materiala bistaratzeko planorako
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Arlo honetan erabili ohi diren helburuak honako hauek dira: aluminioa/kobrea/molibdenoa/nikela/niobioa/silicioa/kromoa, etab.
(2)Erabilera:Xede-material mota hau telebistako eta koadernoko eremu handiko hainbat filmetan erabiltzen da batez ere。
(3)Baldintza funtzionalak:Garbitasuna, eremu handia, uniformetasuna eta abar eskakizun handiak.
3,Eguzki-zelulen helburuak
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Aluminioa/kobrea/Molibdenoa/kromoa/ITO/Ta helburuak eguzki-zeluletan erabili ohi dira.
(2)Erabilera:Batez ere "leiho-geruza", hesi-geruza, elektrodo eta film eroalean eta beste batzuetan erabiltzen da。
(3)Baldintza funtzionalak:Trebetasun-eskakizun handia, erabilera-eskaintza zabala.
4,Informazioa gordetzeko xede-materiala
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Informazio biltegiratzea normalean erabiltzen diren kobalto/nikel/ferroaleazio/kromo/teluro/selenio xede-materialak.
(2)Erabilera:Hemen helburuko materiala cd-rom eta CDaren buru, erdiko geruza eta beheko geruzarako erabiltzen da batez ere.
(3) Baldintza funtzionalak:Biltegiratze-dentsitate handia eta transmisio-abiadura handia behar dira.
5,Erreminta aldatzeko xede-materiala
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Titanio/zirkonio/sare/kromo-aluminio aleazio eta beste helburu batzuen erreminta aldatzea.
(2)Erabilera:Normalean itxura hobetzeko erabiltzen da.
(3)Baldintza funtzionalak:Baldintza funtzional handiak, zerbitzu-bizitza luzea.
6,Gailu elektronikoetarako xede-materialak
(1)Gehien erabiltzen den materiala:Aluminio aleazio/siliziro helburuak gailu elektronikoetan erabili ohi dira
(2)Erabilera:Orokorrean film erresistentzietarako eta kondentsadoreetarako erabiltzen da.
(3)Baldintza funtzionalak:Tamaina txikia, egonkortasuna, erresistentzia baxua tenperatura koefizientea
Argitalpenaren ordua: 2022-04-21