Filmean oinarritutako MEMS piezoelektrikoen (pMEMS) sentsorearen eta irrati-maiztasuneko (RF) iragazkien osagaien industriari laguntzeko, Rich Special Material Co., Ltd.-k fabrikatutako aluminiozko eskandio aleazioa bereziki erabiltzen da eskandiozko dopatutako aluminio nitrurozko filmen deposizio erreaktiboa egiteko. .
Film meheko material piezoelektrikoak gero eta gehiago erabiltzen dira automozio, industria eta ekipamendu elektroniko pertsonaletan.Aplikazioen artean, pmt oinarritutako hatz-marken sentsoreak eta keinuak ezagutzeko gailuak, MEMS mikrofonoak, erresonagailuetan oinarritutako sentsore kimikoak eta sentsore medikoak daude.Gainera, eskandiozko dopatutako aluminio nitrurozko filmak gero eta gehiago behar dira 5G sareko aplikazioetarako RF iragazkiak gauzatzeko.Aldi berean, aluminiozko eskandio aleazio kopurua handitzen ari da.
Al Sc Alloy-ren propietateak
Homogeneotasun kimiko oso koherentea aleazio osoan
Filmaren homogeneotasun kimiko oso koherentea txiparen eta aleazioaren bizitza osoan
Garbitasuna>% 99,9, oxigeno-eduki txikia, kutsatzaile kritiko-eduki txikia
Zorrotz kontrolatu mikroegitura sputtering errendimendu onena lortzeko
Hutsean egindako aleazio trinkoa, atxikimendu baxua, aldakortasun baxua eta granularitate baxua
Rich Special Material Co., Ltd.-k aleazio-galdaketa, helburuen pertsonalizazioa eta I+G zerbitzu ugari onartzen ditu.
Argitalpenaren ordua: 2022-11-11