Helburuaren mantentzeari buruzko lagun askok galdera gehiago edo gutxiago daude, azkenaldian bezero asko ere ari dira xedearekin lotutako arazoen mantentzeari buruz kontsultatzen, utzi RSM-ko editoreari sputtering helburuaren mantentze-lanaren ezagutzari buruz partekatzeko.
Nola mantendu behar dira sputter helburuak?
1、 Helburua mantentzea
Sputtering-prozesuan barrunbe garbiek eragindako zirkuitu laburrak eta arkuak saihesteko, beharrezkoa da sputtering-bidearen erdian eta bi alboetan metatutako sputter-ak aldian-aldian kentzea, eta horrek erabiltzaileei potentzia-dentsitate handian etengabe sputter egiten laguntzen die.
2、 Helburu biltegiratzea
Erabiltzaileek helburua (metala edo zeramikazkoa izan) hutsean biltegiratzea gomendatzen dugu, batez ere doikuntza-helburua hutsean gorde behar da, doikuntza-geruzaren oxidazioak egokitze-kalitateari eragin diezaion.Metalezko helburuak biltzeari dagokionez, plastikozko poltsa garbietan ontziratu behar direla iradokitzen dugu gutxienez.
3、 Helburuen garbiketa
Lehen urratsa azetonan bustitako lilurik gabeko zapi leun batekin garbitzea da;
Bigarren urratsa lehen urratsaren antzekoa da, alkoholarekin garbitzea;
3. urratsa: garbitu ur deionizatuarekin.Ur deionizatuarekin garbitu ondoren, helburua labean sartzen da eta 100 ℃-tan lehortzen da 30 minutuz.Oxidoa eta zeramikazko helburuak garbitzeko "pelusarik gabeko zapi" erabiltzea gomendatzen da.
Laugarren urratsa helburua argonarekin garbitzea da presio altuarekin eta hezetasun baxuarekin, sputtering sisteman arkua eragin dezaketen partikula ezpuru guztiak kentzeko.
4、 Zirkuitu laburra eta estankotasuna egiaztatzea
Helburua instalatu ondoren, katodo osoa zirkuitu laburra eta estankotasuna egiaztatu behar da.Erresistentzia-neurgailu bat eta megger bat erabiliz katodoan zirkuitu laburrik dagoen ala ez epaitzea gomendatzen da.Katodoan zirkuitu laburrik ez dagoela baieztatu ondoren, ur-ihesaren ikuskapena egin daiteke, eta ura sar daiteke katodoan ur-ihesak dauden ala ez zehazteko.
5 、 Paketatzea eta garraioa
Helburu guztiak hutsean itxitako plastikozko poltsetan daude, hezetasunaren aurkako agentearekin.Kanpoko paketea, oro har, egurrezko kaxa da, inguruan talkaren aurkako geruza duena, helburua eta atzeko planoa garraiatzeko eta biltegiratzeko kalteetatik babesteko.
Argitalpenaren ordua: 2022-07-15