Biltegiratze optikoko industrian xede-materialen errendimendu-eskakizunak

Datuak biltegiratzeko industrian erabiltzen den xede-materialak purutasun handia behar du, eta ezpurutasunak eta poroak gutxitu behar dira sputtering zehar ezpurutasun-partikulak sortzea saihesteko.Kalitate handiko produktuetarako erabiltzen den xede-materialak bere kristalen partikulen tamaina txikia eta uniformea ​​izan behar du eta kristal-orientaziorik ez izatea.Jarraian, ikus ditzagun xede-materialaren biltegiratze optikoaren industriaren eskakizunak?

1. Garbitasuna

Aplikazio praktikoetan, xede-materialen purutasuna aldatu egiten da industria eta eskakizun desberdinen arabera.Hala ere, orokorrean, helburuko materialaren garbitasuna zenbat eta handiagoa izan, orduan eta hobea izango da sputtered filmaren errendimendua.Adibidez, biltegiratze optikoaren industrian, xede-materialaren purutasuna 3N5 edo 4N baino handiagoa izan behar da.

2. Ezpurutasun-edukia

Helburu-materialak katodo-iturri gisa balio du sputtering-ean, eta solidoaren ezpurutasunak eta poroetako oxigenoa eta ur-lurruna dira film meheak metatzeko kutsadura-iturri nagusiak.Horrez gain, erabilera ezberdinetako helburuetarako baldintza bereziak daude.Biltegiratze optikoaren industria adibide gisa hartuta, sputtering helburuetan ezpurutasun-edukia oso baxua kontrolatu behar da estalduraren kalitatea bermatzeko.

3. Alearen tamaina eta tamainaren banaketa

Normalean, xede-materialak egitura polikristalinoa du, mikrometroetatik milimetroetara bitarteko aleen tamainarekin.Osaera bera duten helburuetarako, ale finen helburuen sputtering-abiadura ale lodien helburua baino azkarragoa da.Ale-tamaina desberdintasun txikiagoak dituzten helburuetarako, metatutako filmaren lodiera ere uniformeagoa izango da.

4. Trinkotasuna

Helburu solidoaren materialaren porositatea murrizteko eta filmaren errendimendua hobetzeko, orokorrean sputtering xede-materialak dentsitate handia izatea beharrezkoa da.Xede-materialaren dentsitatea, batez ere, prestaketa-prozesuaren araberakoa da.Urtze eta galdaketa metodoaren bidez fabrikatutako xede-materialak xede-materialaren barruan pororik ez dagoela berma dezake eta dentsitatea oso handia da.