Polisilicona sputtering helburuko material garrantzitsua da.SiO2 eta beste film mehe batzuk prestatzeko magnetron sputtering metodoa erabiliz, matrizearen materialak erresistentzia optiko, dielektriko eta korrosio hobea izan dezake, ukipen-pantaila, optiko eta bestelako industrietan oso erabilia dena.
Kristal luzeak galdaketa-prozesua silizio likidoaren solidotze norabidea behetik goialdera pixkanaka-pixkanaka konturatzea da, lingote-labearen eremu beroan berogailuaren tenperatura zehatz-mehatz kontrolatuz eta isolamendu termikoko materialaren beroa xahutzea, eta solidotze kristal luzeen abiadura 0,8 ~ 1,2 cm/h da.Aldi berean, norabide solidotze prozesuan, siliziozko materialen metal-elementuen bereizketa-efektua antzeman daiteke, metal-elementu gehienak araz daitezke eta silizio polikristalino ale-egitura uniforme bat sor daiteke.
Galdaketako polisilizioa ere nahita dopatu behar da ekoizpen-prozesuan, silizio-urtuko ezpurutasun hartzaileen kontzentrazioa aldatzeko.Industriako p motako polisilizio fundituaren dopatzaile nagusia siliziozko boro aleazio maisua da, zeinetan boro edukia % 0,025 ingurukoa den.Dopin-kopurua silizio-oblearen xede-erresistentziaren arabera zehazten da.Erresistentzia optimoa 0,02 ~ 0,05 Ω • cm da, eta dagokion boro kontzentrazioa 2 × 1014cm-3 ingurukoa da。 Hala ere, silizioan boroaren bereizketa koefizientea 0,8 da, eta horrek segregazio efektu jakin bat erakutsiko du solidotze norabideko prozesuan, hori hau da, boro elementua gradiente batean banatzen da lingotearen noranzko bertikalean, eta erresistentzia pixkanaka txikitzen da lingotearen behetik goialdera.
Argitalpenaren ordua: 2022-07-26