Erdieroaleen industriak sarritan ikusten du xede-materialetarako terminoa, oblea materialetan eta ontzi-materialetan bana daitekeena.Enbalatzeko materialek oztopo tekniko nahiko baxuak dituzte obleak fabrikatzeko materialen aldean.Obleen ekoizpen prozesuak 7 material erdieroale eta produktu kimiko mota hartzen ditu batez ere, sputtering helburuko material mota bat barne.Beraz, zein da xede-materiala?Zergatik da hain garrantzitsua xede-materiala?Gaur xede-materiala zein den hitz egingo dugu!
Zein da xede-materiala?
Besterik gabe, xede-materiala abiadura handiko partikulek bonbardatutako xede-materiala da.Helburu-material desberdinak ordezkatuz (adibidez, aluminioa, kobrea, altzairu herdoilgaitza, titanioa, nikel-helburuak, etab.), film-sistema desberdinak lor daitezke (adibidez, supergogorra, higadura-erresistentea, korrosioaren aurkako aleazio-filmak, etab.).
Gaur egun, (garbia) sputtering helburuko materialak honela bana daitezke:
1) Metal-helburuak (metal purua aluminioa, titanioa, kobrea, tantalioa, etab.)
2) Aleazio helburuak (nikel kromo aleazioa, nikel kobalto aleazioa, etab.)
3) Helburu konposatu zeramikazkoak (oxidoak, siliziuroak, karburoak, sulfuroak, etab.).
Etengailu ezberdinen arabera, honako hauetan bana daiteke: helburu luzea, helburu karratua eta helburu zirkularra.
Aplikazio-eremu desberdinen arabera, honako hauetan bana daiteke: erdieroaleen txip-helburuak, pantaila lauko pantaila-helburuak, eguzki-zelulen helburuak, informazioa biltegiratzeko helburuak, aldatutako helburuak, gailu elektronikoen helburuak eta beste helburu batzuk.
Hori ikusita, garbitasun handiko sputtering helburuak ulertu beharko zenituzke, baita metalezko helburuetan erabiltzen diren aluminioa, titanioa, kobrea eta tantalioa ere.Erdieroaleen obleen fabrikazioan, aluminioaren prozesua izan ohi da 200 mm-ko (8 hazbeteko) eta beheragoko obleak fabrikatzeko metodo nagusia, eta erabilitako xede-materialak aluminio eta titaniozko elementuak dira batez ere.300 mm-ko (12 hazbeteko) obleen fabrikazioa, batez ere kobre-interkonexio-teknologia aurreratua erabiliz, batez ere kobrea eta tantalioa helburuak erabiliz.
Pertsona orok ulertu beharko luke zein den xede-materiala.Oro har, txip-aplikazioen sorta gero eta handiagoarekin eta txip-merkatuan eskaria gero eta handiagoa denez, zalantzarik gabe, industriako lau film meheko metal-materialen eskaera handitu egingo da, hots, aluminioa, titanioa, tantalioa eta kobrea.Eta gaur egun, ez dago film meheko metalezko lau material horiek ordezkatzeko beste irtenbiderik.
Argitalpenaren ordua: 2023-06-07