Sputtering helburuetan pitzadurak gertatzen dira normalean zeramikazko sputtering helburuetan, hala nola oxidoak, karburoak, nitruroak eta material hauskorrak, hala nola kromoa, antimonioa, bismutoa.Orain RSM-ko aditu teknikoek azal dezatela zergatik pitzatzen den sputtering helburua eta zein prebentzio-neurri har daitezkeen saihesteko...
Irakurri gehiago